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“降(jiang)尺度(Downscaling)”在电子科学中特指缩小基本器件尺寸的过程，引领着计算机科学、信息显示和人(ren)机交互等领域的技术革命。对于实现更加微小的器件，科学家们一直保持着不懈的追求。
据浙江大学新闻网20日(ri)消息，近(jin)日(ri)，浙江大学光(guang)电科学与工程学院/海宁国际(ji)联合学院狄大卫教授和赵保丹研究员团队研发的微米和纳米钙钛矿LED（micro-PeLED和nano-PeLED）达到了传统LED难以(yi)触及的——90nm尺寸新极限，同时(shi)降(jiang)尺度过程仅造成微弱的性能损耗。
相(xiang)关研究成果以(yi)“Downscaling micro- and nano-perovskite LEDs”为题，于北京时(shi)间3月20日(ri)发表在《自然》上。论文第一作者为浙江大学光(guang)电科学与工程学院博士(shi)生连亚霄、王亚馨、袁瑜才、任智翔，论文通讯作者为狄大卫和赵保丹，浙江大学是唯一通讯单位。
“微缩”的艺术
根据信息技术的发展规律，集成电路(lu)上可容纳的晶(jing)体管数量大约每两年会翻(fan)一番，性能也会相(xiang)应(ying)提升，带来电子设备(bei)越(yue)来越(yue)快的运行速(su)度和不断降(jiang)低的制造成本。
从诞生初期需要若干(gan)房间安置的计算机到如今集聚众多应(ying)用功能的小巧手机，从第一颗红光(guang)LED到如今色域宽广、色彩丰富(fu)的各式屏(ping)幕以(yi)及AR、VR眼镜……器件的“微型化”已经成为科学家们不断追求的目标。
在电子科学领域，不断缩小基本器件尺寸的过程就是——降(jiang)尺度。
“目前世界最先进的显示技术是基于III-V族半导体的micro-LED，被认为是显示器的‘终极技术’。”狄大卫介绍，micro-LED就是一种“降(jiang)尺度”的LED，通过缩小LED的尺寸，可实现超高清、超高精度的光(guang)电显示。
课题组开展科研实验
受(shou)限于复杂的工艺技术，micro-LED的制造成本极高。更为重要的是，当像素尺寸减小到约10微米或(huo)更小时(shi)，micro-LED的效率会急剧下降(jiang)。而这正是超高分辨率的高端AR/VR应(ying)用所需要的像素尺寸，昂贵的价格与较低的发光(guang)效率限制了其大规模商业应(ying)用的可能。
钙钛矿LED是一种可应(ying)用于显示、照明和通讯等领域的新型光(guang)源，在色彩纯度、色域宽度上有极大的优势。几年前，从三五族半导体micro-LED的微型化研究中得到启(qi)发，狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED。
初步尝试后，团队于2021年首次(ci)提出了“微型钙钛矿LED（micro-PeLED）”的概念，后续获得了国家与国际(ji)专利。
“雕刻”更小的钙钛矿LED
“对钙钛矿LED进行微型化并不能沿(yan)用micro-LED技术。而且，传统的光(guang)刻工艺会破坏钙钛矿材料。”狄大卫说，制造微型钙钛矿LED最简单的方法是对顶部和底部的电极接(jie)触进行图案化，用电极重叠的区域定义发光(guang)像素区域，但是这种方法会使像素边界处的钙钛矿材料暴露在电极边缘，容易产生非辐射能量损耗，进而使LED效率降(jiang)低。
“我们设计了一套局域接(jie)触工艺，其能够在附(fu)加绝缘层中引入由光(guang)刻制作的图案化窗口，以(yi)确保像素区域远离电极边缘。”连亚霄介绍。
这一工艺有效保证了LED的发光(guang)效率，使团队能够制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED。赵保丹说：“对于绿(lu)色和近(jin)红外钙钛矿LED而言，当像素尺寸在数百微米到3.5微米范围时(shi)，外量子效率均保持在20%左右。”
Micro/nano-PeLED与其他LED技术的比较。
研究团队开发的micro和nano-PeLED相(xiang)较于基于III-V族半导体的micro-LED具有优势，大约在180纳米的极小尺寸才开始显现降(jiang)尺寸效应(ying)，此(ci)时(shi)的效率降(jiang)低至最高值的50%。而传统micro-LED在尺寸低于10微米时(shi)效率就已经显著下降(jiang)。
狄大卫说：“论文中所展示的nano-PeLED最小可达到90纳米，是迄今为止报道的最小LED像素。”基于此(ci)，团队创建的具有127000 PPI超高分辨率的LED像素阵列也摘得所有类型LED阵列最高分辨率的纪录。
向“极致”突破
在学生培养(yang)方面，团队也有自己的哲学——以(yi)解决真(zhen)正的困难问(wen)题为导向形成个人(ren)的内驱力。狄大卫表示：“探索极限、做领域中最难而正确的事就是我们所有人(ren)的目标，它凝聚起整个团队的力量。”
谈到论文的技术性，“审稿人(ren)感叹于论文背后巨大的工作量”，赵保丹说，“这篇论文集合了所有主(zhu)要作者所掌握的关键技术，每个人(ren)都贡献了自己的智慧和努力。”
探索LED降(jiang)尺寸性能的极限本源于团队的好奇心，但要让其进一步激发生产力，还需要从实验室(shi)的发现发明走向实际(ji)应(ying)用。
有源矩阵micro-PeLED微显示器呈现的图像
实用的显示器件，需要由可编程电路(lu)驱动LED阵列来传达有用的信息，这需要产业界的合作。为此(ci)，团队与杭州领挚科技携(xie)手制作了由TFT背板驱动的有源矩阵micro-PeLED微显示器原型，能够呈现复杂的图像和视频，目前正在积极推动技术应(ying)用。
“我们很(hen)高兴看到micro和nano-PeLED作为下一代(dai)光(guang)源技术在AR/VR显示以(yi)及其他领域的重大潜力。”狄大卫说。