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金融界 2025 年 2 月 22 日消息，国(guo)家知(zhi)识产权局信息显示(shi)，合肥领航微系统集成有限(xian)公(gong)司申请一项名为“一种(zhong)基于压电(dian) MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制备方法”的专利，公(gong)开号 CN 119497559 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘(zhai)要显示(shi)，本发明涉及半导体工(gong)艺技术领域，尤其涉及一种(zhong)基于压电(dian) MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制备方法，包括衬底，衬底具有相对的正面及背面，在衬底的正面形成压电(dian)层，衬底贯(guan)穿开设(she)背腔，在压电(dian)层的表面形成结构层，结构层的厚度大于压电(dian)层中压电(dian)薄膜的厚度，使中性面位于结构层横向投影面积范围内；其中，压电(dian)层的顶电(dian)极位于振膜的区域开设(she)隔(ge)离槽，隔(ge)离槽将顶电(dian)极分为互相独立的内部电(dian)极和外部电(dian)极；制备方法，包括：在衬底的正面生长压电(dian)层；刻蚀顶电(dian)极；生长结构层；贯(guan)穿刻蚀衬底，形成背腔。本发明采用氧化硅作为结构层，氧化硅的杨氏模(mo)量低，工(gong)艺应力低可以有效降低谐振频率在此基础上刻蚀顶电(dian)极形成开缝，实(shi)现应力释放。

天眼查资料显示(shi)，合肥领航微系统集成有限(xian)公(gong)司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事(shi)软(ruan)件(jian)和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币，实(shi)缴资本504.3万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限(xian)公(gong)司参与招投标项目2次，知(zhi)识产权方面有商标信息2条，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界