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专利摘要显示，本公开涉及半导(dao)体器件(jian)及其制造方法。一种用于制造半导(dao)体器件(jian)的方法包括：通过(guo)在下结构之(zhi)上顺序地形(xing)成(cheng)第(di)一层、第(di)二层、第(di)三层、第(di)四层和第(di)五层来形(xing)成(cheng)堆叠体；在堆叠体中形(xing)成(cheng)开口；通过(guo)使第(di)二层和第(di)四层从开口水平凹陷而暴露第(di)三层的边缘来形(xing)成(cheng)盖层；在盖层和第(di)三层的边缘上形(xing)成(cheng)衬垫结构；在衬垫结构之(zhi)上形(xing)成(cheng)牺牲衬垫材料；使牺牲衬垫材料和衬垫结构凹陷以暴露第(di)三层的边缘；通过(guo)使第(di)三层的暴露边缘凹陷来形(xing)成(cheng)第(di)三层图案；以及形(xing)成(cheng)耦接到第(di)三层图案的数据储存元件(jian)。

来源：金融界