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日产三菱汽车金融申请退款人工客服电话
2025-02-22 21:41:09
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金融界(jie) 2025 年 2 月(yue) 22 日消息,国家知识产权局信息显示,合肥领(ling)航微系统集成有限公(gong)司申请一项名为“一种基于压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制备方法(fa)”的专利,公(gong)开号 CN 119497559 A,申请日期为 2024 年 9 月(yue)。

专利摘要显示,本(ben)发明涉及半导体(ti)工艺技术领(ling)域,尤其涉及一种基于压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制备方法(fa),包括衬底,衬底具有相对的正面及背面,在衬底的正面形成压电层,衬底贯(guan)穿开设(she)背腔,在压电层的表面形成结构(gou)层,结构(gou)层的厚度大于压电层中(zhong)压电薄膜的厚度,使中(zhong)性面位于结构(gou)层横(heng)向投影面积范围(wei)内;其中(zhong),压电层的顶电极位于振膜的区域开设(she)隔离槽,隔离槽将顶电极分为互相独立的内部电极和外部电极;制备方法(fa),包括:在衬底的正面生长压电层;刻蚀顶电极;生长结构(gou)层;贯(guan)穿刻蚀衬底,形成背腔。本(ben)发明采用氧化硅作为结构(gou)层,氧化硅的杨氏模量低(di),工艺应力低(di)可以有效降低(di)谐振频(pin)率在此基础上刻蚀顶电极形成开缝,实现应力释(shi)放。

天眼查(cha)资料显示,合肥领(ling)航微系统集成有限公(gong)司,成立于2022年,位于合肥市,是一家以从(cong)事软件和信息技术服务业为主的企(qi)业。企(qi)业注册资本(ben)754.299万人民币,实缴资本(ben)504.3万人民币。通过天眼查(cha)大数据(ju)分析,合肥领(ling)航微系统集成有限公(gong)司参与招投标项目2次,知识产权方面有商标信息2条,专利信息79条,此外企(qi)业还拥有行政许可4个。

来(lai)源(yuan):金融界(jie)

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