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奇瑞徽银有限公司全国统一客服电话
2025-02-23 00:18:60
奇瑞徽银有限公司全国统一客服电话

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专利摘要显示,公开(kai)了包括超结结构(gou)的(de)半导(dao)体器件。一(yi)种半导(dao)体器件(10),包括晶体管。晶体管包括被形成在半导(dao)体衬底(100)中的(de)多个栅(shan)极沟槽(111),栅(shan)极沟槽(111)使(shi)半导(dao)体衬底(100)图案化为(wei)脊(ji)(114)。晶体管还包括栅(shan)极电(dian)极(110),其被布置在栅(shan)极沟槽(111)中的(de)至少一(yi)个中。源(yuan)极区(124)、沟道区(122)、部分电(dian)流扩散区(126)被布置在脊(ji)(114)中。半导(dao)体器件(10)还包括超结结构(gou)(117),其被布置在与沟道区(122)相比距源(yuan)极区(124)更大的(de)距离处。超结结构(gou)(117)包括第一(yi)导(dao)电(dian)类型(xing)的(de)第一(yi)补偿区(118)和第二导(dao)电(dian)类型(xing)的(de)第二补偿区(119)。沟道区(122)的(de)第二导(dao)电(dian)类型(xing)的(de)掺杂部分(120)的(de)掺杂浓度在与第一(yi)水平方向相交的(de)第二水平方向上从靠近栅(shan)极电(dian)极(110)的(de)区到脊(ji)(114)的(de)中心部分降低。

来源(yuan):金融界

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