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羊城晚(wan)报记者 李程(cheng) 梁辉森 通讯员 梁晔
从追赶到引领，短短数年，先导薄膜材料（广(guang)东）有限公(gong)司（以下简称“先导薄膜”）完成了一场令人瞩目的行业逆袭，在全球ITO靶材行业实现“遥遥领先”，补齐了国内行业技术(shu)和产能的短板。
据了解，先导薄膜主要从事陶瓷靶材和金(jin)属靶材产品的研(yan)发(fa)、生产和销售，是先导科技集(ji)团下属子公(gong)司。该公(gong)司是国内首批进入(ru)磁存储靶材领域的供应商，也是国内率先交付G4.5代AMOLED高迁氧化物靶材、率先实现高世代液晶显示面(mian)板用ITO靶材量(liang)产的企业。当前(qian)，该公(gong)司ITO靶材全球市场占(zhan)有率超三成，产能跃居全球第一，客户涵(han)盖京东方、TCL华星光电、三星、LG等全球知名厂商。
走好“突围路”，打破ITO靶材国外垄断
ITO靶材是一种透明电极薄膜材料，具(ju)有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械(xie)硬(ying)度和良好的化学稳定性，常(chang)用于显示面(mian)板、触摸面(mian)板、太阳能电池等的制造，同(tong)时在智能建筑(zhu)与汽(qi)车等领域也具(ju)有广(guang)泛应用。
以前(qian)，国内ITO靶材只能依赖外国进口。2014年以来，国内企业开始涉(she)及(ji)这一领域，但大多只能制备低端ITO靶材，能制备高端ITO靶材的企业较少，主要的市场份额依然由国外企业掌控(kong)。因此，打破国外ITO靶材制备技术(shu)垄断、实现高端ITO靶材的国产化、保证国内显示产业关键原材料的稳定供应，迫在眉睫(jie)。
先导薄膜基(ji)地负责人胡智向介绍，开展ITO靶材研(yan)发(fa)后，公(gong)司两条腿走路，一方面(mian)通过外延式(shi)扩张，不断扩充实力；另一方面(mian)持(chi)续加大投入(ru)，形成以自(zi)主研(yan)发(fa)为引领的研(yan)发(fa)模式(shi)，使得公(gong)司技术(shu)水平和研(yan)发(fa)实力实现了连续高水平跃升。
研(yan)发(fa)过程(cheng)中，ITO靶材尺寸和致密度是两大关键难(nan)题。“公(gong)司积极与高校合作交流，引进技术(shu)人才，提升创新能力。”胡智向表示，公(gong)司还与设备厂商合作，设计和开发(fa)新型大尺寸高精度气氛烧结设备，通过大量(liang)实验和数据分析(xi)，找到工艺突破点(dian)。
经过不懈努力，先导薄膜在ITO靶材技术(shu)研(yan)发(fa)上(shang)取得了众(zhong)多独特的技术(shu)创新和专利成果。在纯度提升方面(mian)，采用化学沉(chen)淀和电化学提纯方法提高原料纯度；在制备高密度大尺寸靶材上(shang)，运用新型大型成型设备和先进的烧结技术(shu)。这些(xie)创新成果不仅提高了产品质量(liang)，更增(zeng)强了核心竞争力。
2020年5月，先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂(za)金(jin)属氧化物（Ln-IZO）靶材成功交付给华星光电，标志着在高迁移(yi)率氧化物靶材领域取得重(zhong)大技术(shu)突破。
走好“协同(tong)路”，取得多项先进成果
“公(gong)司的发(fa)展离不开当地的支持(chi)。”胡智向介绍，清远(yuan)市开展的先进制造业和高技术(shu)制造业企业扶(fu)优(you)计划，推动公(gong)司向做强做优(you)做大的方向发(fa)展。
在清远(yuan)市的支持(chi)下，先导薄膜建立(li)了省市两级工程(cheng)中心、企业技术(shu)中心、广(guang)东省高性能溅射靶材技术(shu)与应用企业重(zhong)点(dian)实验室等平台，助力ITO靶材产品于2019年通过重(zhong)点(dian)新材料首批次(ci)应用保险补偿试点(dian)项目，并于2023年入(ru)选广(guang)东省制造业单项冠军产品。当前(qian)，ITO靶材在该公(gong)司产品体系中占(zhan)据核心地位，是核心技术(shu)产品。
凭借卓(zhuo)越的产品品质，先导薄膜荣获中国有色金(jin)属工业协会科学技术(shu)奖一等奖、中国新型显示产业链(lian)发(fa)展特殊贡献奖等多项荣誉。
在与广(guang)东省上(shang)下游企业的合作上(shang)，先导薄膜形成了良好的协同(tong)发(fa)展模式(shi)。一方面(mian)，与上(shang)游的材料公(gong)司合作，通过增(zeng)加订单、提高采购量(liang)，推动其(qi)扩大生产规模、提升产品质量(liang)和技术(shu)水平。另一方面(mian)，与下游企业如(ru)TCL华星光电技术(shu)有限公(gong)司紧密合作。此外，先导薄膜还与上(shang)下游企业开展协同(tong)创新，联合高校、科研(yan)机构共同(tong)参与重(zhong)点(dian)研(yan)发(fa)计划项目。
2019年，先导薄膜与广(guang)州新视界光电科技有限公(gong)司、深圳市华星光电半(ban)导体显示技术(shu)有限公(gong)司、华南理工大学、广(guang)东省半(ban)导体产业技术(shu)研(yan)究院共同(tong)参与广(guang)东省重(zhong)点(dian)研(yan)发(fa)计划项目——“薄膜晶体管(guan)用高迁移(yi)率氧化物半(ban)导体溅射靶材研(yan)究及(ji)应用”，获得了省级支持(chi)。经过项目团队的辛勤(qin)努力，该项目已成功验收，取得了薄膜晶体管(guan)用高迁移(yi)率氧化物半(ban)导体溅射靶材等先进成果。
走好“提升路”，增(zeng)强企业核心竞争力
如(ru)今(jin)，先导薄膜已成为行业内的佼佼者，产品获得国内外客户和行业协会的高度认(ren)可。随(sui)着行业发(fa)展和技术(shu)进步，ITO靶材市场机遇与挑战并存。铟作为ITO靶材的核心原材料，资源(yuan)稀缺(que)且成本高，对大规模应用构成一定阻碍。如(ru)何提高ITO废料的回(hui)收和再利用技术(shu)以及(ji)无铟靶材等替代材料开发(fa)，成为行业关注的重(zhong)点(dian)。
对此，胡智向介绍，公(gong)司将加大研(yan)发(fa)投入(ru)，基(ji)于“原料提纯－粉体合成－精密靶材制备”的优(you)势，开发(fa)更多满足客户需求的新产品。“目前(qian)公(gong)司正在开展新型显示及(ji)异(yi)质结太阳能用TCO靶材技术(shu)改造等新型显示及(ji)光伏(fu)产业等项目，推动新型显示、新一代太阳能电池等应用，齐心协力建设广(guang)东省新型显示及(ji)光伏(fu)产业集(ji)群。”胡智向说。