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金融界 2025 年 2 月 22 日消息，国家(jia)知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司申(shen)请一项名为(wei)“一种基于压(ya)电 MEMS 芯片的 PMUT 及其制备方法”的专利，公开(kai)号 CN 119497559 A，申(shen)请日期为(wei) 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明涉及半(ban)导体工艺技术领域，尤(you)其涉及一种基于压(ya)电 MEMS 芯片的 PMUT 及其制备方法，包(bao)括衬底，衬底具(ju)有相对的正面及背(bei)面，在衬底的正面形成压(ya)电层，衬底贯穿开(kai)设背(bei)腔，在压(ya)电层的表面形成结构层，结构层的厚度大于压(ya)电层中压(ya)电薄膜的厚度，使中性(xing)面位于结构层横向投(tou)影面积范围(wei)内；其中，压(ya)电层的顶电极位于振膜的区(qu)域开(kai)设隔(ge)离槽，隔(ge)离槽将顶电极分为(wei)互相独立的内部(bu)电极和外部(bu)电极；制备方法，包(bao)括：在衬底的正面生长压(ya)电层；刻蚀(shi)顶电极；生长结构层；贯穿刻蚀(shi)衬底，形成背(bei)腔。本发明采用氧化硅作(zuo)为(wei)结构层，氧化硅的杨氏模量(liang)低，工艺应力低可以(yi)有效(xiao)降低谐振频率在此基础上刻蚀(shi)顶电极形成开(kai)缝，实(shi)现应力释放。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家(jia)以(yi)从事软件和信息技术服务业为(wei)主的企业。企业注册资本754.299万人民币，实(shi)缴资本504.3万人民币。通过(guo)天眼查大数(shu)据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投(tou)标项目2次(ci)，知识产权方面有商标信息2条，专利信息79条，此外企业还(hai)拥有行政许(xu)可4个。

来源：金融界