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金融界2025年2月22日消息，国家知(zhi)识产(chan)权局信息显示，中微半(ban)导体设备（上海(hai)）股份有限公司申请一(yi)项名(ming)为“半(ban)导体结构(gou)的(de)处理方法、半(ban)导体结构(gou)及半(ban)导体处理装置”的(de)专(zhuan)利，公开号 CN 119497382 A，申请日期为2023年8月。

专(zhuan)利摘要显示，本发明公开了一(yi)种半(ban)导体结构(gou)的(de)处理方法、半(ban)导体结构(gou)及半(ban)导体处理装置。处理方法包括：提供(gong)一(yi)基片，包括设置在衬底上的(de)基底层，其(qi)具有侧部自(zi)顶部表面(mian)朝(chao)向衬底方向逐渐向外延(yan)伸(shen)形(xing)成的(de)坡度(du)结构(gou)，坡度(du)结构(gou)上覆盖有截止层，截止层上设有电介质层；开启源射(she)频(pin)、偏置射(she)频(pin)，通入(ru)第一(yi)刻蚀气体，刻蚀电介质层，直到第三类孔暴露出截止层；降低偏置射(she)频(pin)的(de)功(gong)率，使第一(yi)类孔、第二类孔和第三类孔的(de)开口发生侧向刻蚀；通入(ru)第二刻蚀气体，对第三类孔暴露的(de)截止层进行刻蚀，第二刻蚀气体的(de)流量随刻蚀时间(jian)以斜率 k 线性提高，直到将第三类孔的(de)截止层刻蚀到预设深度(du)。本发明通过对不同深度(du)不同深宽比的(de)通孔中截止层余量地控制，扩大了后续打击截止层制程的(de)工艺窗口。

天眼(yan)查资料显示，中微半(ban)导体设备（上海(hai)）股份有限公司，成立(li)于2004年，位于上海(hai)市，是一(yi)家以从事计算机(ji)、通信和其(qi)他电子(zi)设备制造业为主的(de)企业。企业注册资本62236.3735万人民(min)币，实缴资本61927.9423万人民(min)币。通过天眼(yan)查大数据分析，中微半(ban)导体设备（上海(hai)）股份有限公司共对外投(tou)资了27家企业，参与招投(tou)标项目65次，知(zhi)识产(chan)权方面(mian)有商标信息72条，专(zhuan)利信息1454条，此(ci)外企业还(hai)拥有行政许(xu)可71个(ge)。

来源：金融界