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金融界 2025 年 2 月 22 日消息，国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限(xian)公司申请一项名为“一种基于压(ya)电 MEMS 芯片的 PMUT 及其制备方法”的专利，公开(kai)号 CN 119497559 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明(ming)涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种基于压(ya)电 MEMS 芯片的 PMUT 及其制备方法，包括衬底，衬底具有相对(dui)的正面及背面，在衬底的正面形成压(ya)电层，衬底贯穿(chuan)开(kai)设(she)背腔，在压(ya)电层的表面形成结(jie)构层，结(jie)构层的厚度大于压(ya)电层中压(ya)电薄膜的厚度，使中性面位于结(jie)构层横向投影(ying)面积范围内；其中，压(ya)电层的顶电极位于振膜的区域开(kai)设(she)隔离槽，隔离槽将顶电极分为互相独立的内部电极和(he)外部电极；制备方法，包括：在衬底的正面生长压(ya)电层；刻(ke)蚀顶电极；生长结(jie)构层；贯穿(chuan)刻(ke)蚀衬底，形成背腔。本发明(ming)采(cai)用氧化硅作为结(jie)构层，氧化硅的杨(yang)氏模量低，工艺应力低可(ke)以有效降低谐振频(pin)率在此基础上刻(ke)蚀顶电极形成开(kai)缝，实现应力释放。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限(xian)公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和(he)信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币，实缴资本504.3万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限(xian)公司参与招投标项目2次，知识产权方面有商标信息2条，专利信息79条，此外企业还拥有行(xing)政许可(ke)4个。

来源：金融界