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金融界2025年2月22日(ri)消息，国(guo)家知识产权局信息显示，爱(ai)思开海力士有限公司申请一项名为“半(ban)导体(ti)器件及其制造方法”的专利(li)，公开号CN 119497387 A，申请日(ri)期为2024年6月。

专利(li)摘(zhai)要显示，本公开涉及半(ban)导体(ti)器件及其制造方法。一种用于制造半(ban)导体(ti)器件的方法，包括(kuo)：在下结(jie)构之上形成包括(kuo)多个凹陷目标层的堆(dui)叠体(ti)；在堆(dui)叠体(ti)中形成牺牲隔离开口；在牺牲隔离开口中形成牺牲隔离层；在牺牲隔离层之间的堆(dui)叠体(ti)中形成牺牲垂直(zhi)开口，其底表面设置在比(bi)牺牲隔离开口的底表面低的水平高度处(chu)；通过经由牺牲垂直(zhi)开口使凹陷目标层凹陷来形成初(chu)步水平层；形成填充牺牲垂直(zhi)开口的牺牲柱(zhu)结(jie)构；通过去除牺牲隔离层形成单元隔离开口；通过经由单元隔离开口修整初(chu)步水平层来形成水平层；以(yi)及形成填充单元隔离开口的单元隔离层。

来源(yuan)：金融界