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羊城晚(wan)报记者 李程 梁辉森(sen) 通讯员(yuan) 梁晔
从追赶(gan)到引领，短短数年，先导薄膜材(cai)料(liao)（广东）有限公司（以下简称“先导薄膜”）完成了一场令人瞩目的行业逆袭，在全球ITO靶材(cai)行业实现“遥遥领先”，补齐了国内行业技术和产能的短板。
据(ju)了解(jie)，先导薄膜主要从事陶瓷靶材(cai)和金(jin)属靶材(cai)产品的研发、生产和销(xiao)售，是先导科技集团下属子公司。该公司是国内首批进入磁(ci)存储靶材(cai)领域(yu)的供应商，也是国内率先交付G4.5代AMOLED高(gao)迁氧化物靶材(cai)、率先实现高(gao)世代液晶显示面板用ITO靶材(cai)量产的企业。当前，该公司ITO靶材(cai)全球市场占(zhan)有率超(chao)三成，产能跃居全球第(di)一，客户涵盖京东方、TCL华(hua)星光电、三星、LG等全球知名厂商。
走好“突围(wei)路”，打破ITO靶材(cai)国外垄断
ITO靶材(cai)是一种透(tou)明电极薄膜材(cai)料(liao)，具(ju)有高(gao)的导电率、高(gao)的可见(jian)光透(tou)过率、高(gao)的机械(xie)硬度和良好的化学稳定性(xing)，常(chang)用于显示面板、触(chu)摸面板、太阳能电池等的制(zhi)造，同时在智能建筑与汽车等领域(yu)也具(ju)有广泛应用。
以前，国内ITO靶材(cai)只能依赖外国进口。2014年以来，国内企业开始涉及这一领域(yu)，但大多只能制(zhi)备低(di)端ITO靶材(cai)，能制(zhi)备高(gao)端ITO靶材(cai)的企业较少，主要的市场份额依然由国外企业掌控。因此，打破国外ITO靶材(cai)制(zhi)备技术垄断、实现高(gao)端ITO靶材(cai)的国产化、保证国内显示产业关键原材(cai)料(liao)的稳定供应，迫在眉睫。
先导薄膜基(ji)地(di)负(fu)责人胡(hu)智向介绍，开展ITO靶材(cai)研发后(hou)，公司两条腿走路，一方面通过外延(yan)式扩张(zhang)，不断扩充实力；另一方面持续加大投入，形成以自(zi)主研发为引领的研发模(mo)式，使得公司技术水平(ping)和研发实力实现了连续高(gao)水平(ping)跃升。
研发过程中，ITO靶材(cai)尺寸和致密(mi)度是两大关键难题。“公司积极与高(gao)校合作交流，引进技术人才，提升创新能力。”胡(hu)智向表示，公司还与设备厂商合作，设计和开发新型大尺寸高(gao)精度气氛烧结设备，通过大量实验和数据(ju)分析，找到工艺突破点。
经过不懈努力，先导薄膜在ITO靶材(cai)技术研发上取得了众多独(du)特的技术创新和专(zhuan)利成果。在纯度提升方面，采用化学沉(chen)淀和电化学提纯方法提高(gao)原料(liao)纯度；在制(zhi)备高(gao)密(mi)度大尺寸靶材(cai)上，运用新型大型成型设备和先进的烧结技术。这些创新成果不仅提高(gao)了产品质量，更增强了核心竞争(zheng)力。
2020年5月(yue)，先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂金(jin)属氧化物（Ln-IZO）靶材(cai)成功交付给华(hua)星光电，标(biao)志着在高(gao)迁移率氧化物靶材(cai)领域(yu)取得重大技术突破。
走好“协同路”，取得多项先进成果
“公司的发展离不开当地(di)的支持。”胡(hu)智向介绍，清远(yuan)市开展的先进制(zhi)造业和高(gao)技术制(zhi)造业企业扶优计划，推动公司向做强做优做大的方向发展。
在清远(yuan)市的支持下，先导薄膜建立了省市两级工程中心、企业技术中心、广东省高(gao)性(xing)能溅射靶材(cai)技术与应用企业重点实验室等平(ping)台，助力ITO靶材(cai)产品于2019年通过重点新材(cai)料(liao)首批次应用保险补偿(chang)试点项目，并(bing)于2023年入选广东省制(zhi)造业单项冠军产品。当前，ITO靶材(cai)在该公司产品体系中占(zhan)据(ju)核心地(di)位，是核心技术产品。
凭(ping)借卓越(yue)的产品品质，先导薄膜荣(rong)获中国有色金(jin)属工业协会科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖等多项荣(rong)誉。
在与广东省上下游企业的合作上，先导薄膜形成了良好的协同发展模(mo)式。一方面，与上游的材(cai)料(liao)公司合作，通过增加订单、提高(gao)采购量，推动其扩大生产规模(mo)、提升产品质量和技术水平(ping)。另一方面，与下游企业如TCL华(hua)星光电技术有限公司紧密(mi)合作。此外，先导薄膜还与上下游企业开展协同创新，联合高(gao)校、科研机构共同参与重点研发计划项目。
2019年，先导薄膜与广州(zhou)新视界光电科技有限公司、深圳市华(hua)星光电半导体显示技术有限公司、华(hua)南理工大学、广东省半导体产业技术研究院共同参与广东省重点研发计划项目——“薄膜晶体管(guan)用高(gao)迁移率氧化物半导体溅射靶材(cai)研究及应用”，获得了省级支持。经过项目团队的辛勤努力，该项目已成功验收(shou)，取得了薄膜晶体管(guan)用高(gao)迁移率氧化物半导体溅射靶材(cai)等先进成果。
走好“提升路”，增强企业核心竞争(zheng)力
如今(jin)，先导薄膜已成为行业内的佼佼者，产品获得国内外客户和行业协会的高(gao)度认可。随着行业发展和技术进步，ITO靶材(cai)市场机遇与挑战并(bing)存。铟作为ITO靶材(cai)的核心原材(cai)料(liao)，资(zi)源稀缺且成本高(gao)，对大规模(mo)应用构成一定阻碍。如何提高(gao)ITO废料(liao)的回收(shou)和再利用技术以及无铟靶材(cai)等替代材(cai)料(liao)开发，成为行业关注的重点。
对此，胡(hu)智向介绍，公司将加大研发投入，基(ji)于“原料(liao)提纯－粉体合成－精密(mi)靶材(cai)制(zhi)备”的优势，开发更多满(man)足客户需(xu)求的新产品。“目前公司正在开展新型显示及异质结太阳能用TCO靶材(cai)技术改造等新型显示及光伏产业等项目，推动新型显示、新一代太阳能电池等应用，齐心协力建设广东省新型显示及光伏产业集群。”胡(hu)智向说。