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羊城(cheng)晚报记者 李程 梁辉森 通讯员 梁晔
从追赶到引领，短短数(shu)年(nian)，先导薄膜材料(liao)（广东）有(you)限公司（以下(xia)简称“先导薄膜”）完成了一场令(ling)人瞩(zhu)目(mu)的(de)行业逆袭，在全球ITO靶材行业实现“遥遥领先”，补齐了国内行业技术和产能的(de)短板。
据了解，先导薄膜主要从事(shi)陶瓷靶材和金(jin)属靶材产品(pin)的(de)研发、生产和销售(shou)，是先导科技集团下(xia)属子(zi)公司。该公司是国内首(shou)批进入(ru)磁存储靶材领域的(de)供应商，也是国内率(lu)先交付G4.5代AMOLED高迁氧化物靶材、率(lu)先实现高世代液晶显示面(mian)板用ITO靶材量产的(de)企(qi)业。当前，该公司ITO靶材全球市场占有(you)率(lu)超三成，产能跃居全球第一，客户涵盖京东方、TCL华星(xing)光(guang)电(dian)、三星(xing)、LG等全球知名厂商。
走(zou)好“突围路”，打破(po)ITO靶材国外(wai)垄断
ITO靶材是一种(zhong)透明电(dian)极薄膜材料(liao)，具有(you)高的(de)导电(dian)率(lu)、高的(de)可见光(guang)透过(guo)率(lu)、高的(de)机械硬(ying)度和良好的(de)化学稳定性，常用于(yu)显示面(mian)板、触摸面(mian)板、太阳能电(dian)池等的(de)制造，同时在智能建筑与汽车等领域也具有(you)广泛应用。
以前，国内ITO靶材只能依赖外(wai)国进口。2014年(nian)以来，国内企(qi)业开始(shi)涉及这一领域，但大多只能制备低端(duan)ITO靶材，能制备高端(duan)ITO靶材的(de)企(qi)业较少，主要的(de)市场份额(e)依然由(you)国外(wai)企(qi)业掌(zhang)控。因此，打破(po)国外(wai)ITO靶材制备技术垄断、实现高端(duan)ITO靶材的(de)国产化、保证国内显示产业关键原材料(liao)的(de)稳定供应，迫在眉睫。
先导薄膜基地负责人胡智向介绍(shao)，开展ITO靶材研发后(hou)，公司两条腿走(zou)路，一方面(mian)通过(guo)外(wai)延式扩(kuo)张，不断扩(kuo)充实力；另一方面(mian)持续加大投入(ru)，形(xing)成以自主研发为引领的(de)研发模式，使得(de)公司技术水平和研发实力实现了连续高水平跃升。
研发过(guo)程中，ITO靶材尺寸和致(zhi)密(mi)度是两大关键难题。“公司积极与高校合作(zuo)交流(liu)，引进技术人才，提升创新能力。”胡智向表示，公司还(hai)与设备厂商合作(zuo)，设计和开发新型大尺寸高精度气氛(fen)烧结设备，通过(guo)大量实验和数(shu)据分析，找(zhao)到工(gong)艺突破(po)点。
经过(guo)不懈(xie)努力，先导薄膜在ITO靶材技术研发上取得(de)了众多独特的(de)技术创新和专(zhuan)利成果。在纯度提升方面(mian)，采用化学沉淀和电(dian)化学提纯方法提高原料(liao)纯度；在制备高密(mi)度大尺寸靶材上，运用新型大型成型设备和先进的(de)烧结技术。这些创新成果不仅提高了产品(pin)质量，更增强了核心竞争(zheng)力。
2020年(nian)5月，先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂金(jin)属氧化物（Ln-IZO）靶材成功交付给华星(xing)光(guang)电(dian)，标志着在高迁移率(lu)氧化物靶材领域取得(de)重大技术突破(po)。
走(zou)好“协(xie)同路”，取得(de)多项先进成果
“公司的(de)发展离不开当地的(de)支持。”胡智向介绍(shao)，清远市开展的(de)先进制造业和高技术制造业企(qi)业扶优计划，推动公司向做强做优做大的(de)方向发展。
在清远市的(de)支持下(xia)，先导薄膜建立了省(sheng)市两级工(gong)程中心、企(qi)业技术中心、广东省(sheng)高性能溅(jian)射靶材技术与应用企(qi)业重点实验室等平台，助(zhu)力ITO靶材产品(pin)于(yu)2019年(nian)通过(guo)重点新材料(liao)首(shou)批次应用保险补偿试点项目(mu)，并于(yu)2023年(nian)入(ru)选广东省(sheng)制造业单项冠军产品(pin)。当前，ITO靶材在该公司产品(pin)体系中占据核心地位，是核心技术产品(pin)。
凭借卓(zhuo)越(yue)的(de)产品(pin)品(pin)质，先导薄膜荣获中国有(you)色金(jin)属工(gong)业协(xie)会科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖等多项荣誉。
在与广东省(sheng)上下(xia)游企(qi)业的(de)合作(zuo)上，先导薄膜形(xing)成了良好的(de)协(xie)同发展模式。一方面(mian)，与上游的(de)材料(liao)公司合作(zuo)，通过(guo)增加订单、提高采购量，推动其扩(kuo)大生产规模、提升产品(pin)质量和技术水平。另一方面(mian)，与下(xia)游企(qi)业如TCL华星(xing)光(guang)电(dian)技术有(you)限公司紧密(mi)合作(zuo)。此外(wai)，先导薄膜还(hai)与上下(xia)游企(qi)业开展协(xie)同创新，联合高校、科研机构共同参与重点研发计划项目(mu)。
2019年(nian)，先导薄膜与广州新视界光(guang)电(dian)科技有(you)限公司、深圳市华星(xing)光(guang)电(dian)半导体显示技术有(you)限公司、华南理工(gong)大学、广东省(sheng)半导体产业技术研究院共同参与广东省(sheng)重点研发计划项目(mu)——“薄膜晶体管用高迁移率(lu)氧化物半导体溅(jian)射靶材研究及应用”，获得(de)了省(sheng)级支持。经过(guo)项目(mu)团队的(de)辛勤努力，该项目(mu)已成功验收(shou)，取得(de)了薄膜晶体管用高迁移率(lu)氧化物半导体溅(jian)射靶材等先进成果。
走(zou)好“提升路”，增强企(qi)业核心竞争(zheng)力
如今，先导薄膜已成为行业内的(de)佼佼者，产品(pin)获得(de)国内外(wai)客户和行业协(xie)会的(de)高度认可。随着行业发展和技术进步，ITO靶材市场机遇与挑战并存。铟作(zuo)为ITO靶材的(de)核心原材料(liao)，资源稀缺且成本高，对大规模应用构成一定阻碍。如何提高ITO废料(liao)的(de)回收(shou)和再利用技术以及无铟靶材等替代材料(liao)开发，成为行业关注的(de)重点。
对此，胡智向介绍(shao)，公司将(jiang)加大研发投入(ru)，基于(yu)“原料(liao)提纯－粉(fen)体合成－精密(mi)靶材制备”的(de)优势，开发更多满足客户需求的(de)新产品(pin)。“目(mu)前公司正在开展新型显示及异质结太阳能用TCO靶材技术改造等新型显示及光(guang)伏产业等项目(mu)，推动新型显示、新一代太阳能电(dian)池等应用，齐心协(xie)力建设广东省(sheng)新型显示及光(guang)伏产业集群。”胡智向说。