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金融界 2025 年 2 月 22 日消息，国家知识产权(quan)局信息显示，合(he)肥领航微系统集成有限(xian)公司申请一(yi)项名为“一(yi)种基于压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及(ji)其制备方法”的专利，公开号 CN 119497559 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明涉及(ji)半导体工艺技术(shu)领域，尤其涉及(ji)一(yi)种基于压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及(ji)其制备方法，包括衬底，衬底具有相(xiang)对的正面及(ji)背面，在衬底的正面形成压电层，衬底贯穿开设背腔，在压电层的表面形成结构层，结构层的厚度大于压电层中(zhong)压电薄膜的厚度，使中(zhong)性面位于结构层横向投影面积范围内；其中(zhong)，压电层的顶电极位于振膜的区域开设隔离(li)槽，隔离(li)槽将顶电极分为互相(xiang)独(du)立的内部电极和外部电极；制备方法，包括：在衬底的正面生长(chang)压电层；刻蚀(shi)顶电极；生长(chang)结构层；贯穿刻蚀(shi)衬底，形成背腔。本发明采用氧化硅(gui)作为结构层，氧化硅(gui)的杨氏(shi)模量低(di)，工艺应力(li)低(di)可以有效降(jiang)低(di)谐振频率在此基础上刻蚀(shi)顶电极形成开缝，实(shi)现应力(li)释放(fang)。

天眼查(cha)资料显示，合(he)肥领航微系统集成有限(xian)公司，成立于2022年，位于合(he)肥市，是一(yi)家以从事软件和信息技术(shu)服务业为主的企业。企业注册资本754.299万(wan)人民币(bi)，实(shi)缴资本504.3万(wan)人民币(bi)。通过天眼查(cha)大数据分析，合(he)肥领航微系统集成有限(xian)公司参与招投标项目2次(ci)，知识产权(quan)方面有商(shang)标信息2条，专利信息79条，此外企业还拥(yong)有行政许可4个。

来源：金融界