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专利(li)摘要显(xian)示,本公(gong)开涉及半(ban)导体器件(jian)及其制造方法。一种用于制造半(ban)导体器件(jian)的方法包括:通过在下结构之上顺序地(di)形(xing)成第一层、第二层、第三层、第四层和(he)第五层来形(xing)成堆叠体;在堆叠体中形(xing)成开口;通过使第二层和(he)第四层从开口水平凹(ao)陷而暴露第三层的边缘来形(xing)成盖层;在盖层和(he)第三层的边缘上形(xing)成衬垫(dian)结构;在衬垫(dian)结构之上形(xing)成牺牲衬垫(dian)材料(liao);使牺牲衬垫(dian)材料(liao)和(he)衬垫(dian)结构凹(ao)陷以暴露第三层的边缘;通过使第三层的暴露边缘凹(ao)陷来形(xing)成第三层图案;以及形(xing)成耦接到第三层图案的数据储存元件(jian)。
来源(yuan):金融界