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羊城(cheng)晚(wan)报记者 李(li)程 梁辉森 通讯(xun)员 梁晔(ye)
从追赶到引领，短短数年(nian)，先导薄膜材料（广(guang)东）有限公司（以下简称“先导薄膜”）完成了(le)一场令人瞩目的行(xing)业逆袭，在全球ITO靶材行(xing)业实现“遥遥领先”，补齐了(le)国内行(xing)业技术和产(chan)能的短板。
据(ju)了(le)解，先导薄膜主要从事陶瓷靶材和金属靶材产(chan)品(pin)的研(yan)发、生(sheng)产(chan)和销售，是先导科(ke)技集团下属子公司。该公司是国内首批进入(ru)磁存储靶材领域的供应商，也是国内率先交付G4.5代AMOLED高迁氧化(hua)物靶材、率先实现高世代液晶显示面板用ITO靶材量产(chan)的企业。当前，该公司ITO靶材全球市场占有率超三成，产(chan)能跃居全球第一，客户涵盖京(jing)东方、TCL华(hua)星(xing)光电、三星(xing)、LG等全球知名厂商。
走好“突围路”，打破(po)ITO靶材国外垄断
ITO靶材是一种透明电极薄膜材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械(xie)硬度和良好的化(hua)学稳(wen)定性(xing)，常用于显示面板、触摸面板、太阳(yang)能电池等的制造，同(tong)时在智能建筑与汽车等领域也具有广(guang)泛应用。
以前，国内ITO靶材只能依赖(lai)外国进口。2014年(nian)以来，国内企业开(kai)始涉及这一领域，但大多只能制备低端ITO靶材，能制备高端ITO靶材的企业较少，主要的市场份额依然(ran)由(you)国外企业掌控。因此(ci)，打破(po)国外ITO靶材制备技术垄断、实现高端ITO靶材的国产(chan)化(hua)、保(bao)证国内显示产(chan)业关(guan)键原材料的稳(wen)定供应，迫在眉睫。
先导薄膜基地负责人胡智向介(jie)绍，开(kai)展ITO靶材研(yan)发后，公司两条腿走路，一方面通过外延式(shi)扩张，不(bu)断扩充实力；另一方面持续加大投入(ru)，形成以自(zi)主研(yan)发为引领的研(yan)发模式(shi)，使得公司技术水平和研(yan)发实力实现了(le)连(lian)续高水平跃升。
研(yan)发过程中，ITO靶材尺寸和致(zhi)密(mi)度是两大关(guan)键难题。“公司积(ji)极与高校合作(zuo)交流，引进技术人才，提升创新能力。”胡智向表示，公司还(hai)与设备厂商合作(zuo)，设计和开(kai)发新型大尺寸高精度气氛烧结设备，通过大量实验和数据(ju)分析，找到工艺突破(po)点。
经过不(bu)懈(xie)努力，先导薄膜在ITO靶材技术研(yan)发上取得了(le)众(zhong)多独特(te)的技术创新和专利成果。在纯度提升方面，采用化(hua)学沉淀和电化(hua)学提纯方法提高原料纯度；在制备高密(mi)度大尺寸靶材上，运(yun)用新型大型成型设备和先进的烧结技术。这些创新成果不(bu)仅(jin)提高了(le)产(chan)品(pin)质(zhi)量，更(geng)增(zeng)强了(le)核(he)心竞争力。
2020年(nian)5月，先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂金属氧化(hua)物（Ln-IZO）靶材成功交付给华(hua)星(xing)光电，标志着在高迁移(yi)率氧化(hua)物靶材领域取得重大技术突破(po)。
走好“协同(tong)路”，取得多项先进成果
“公司的发展离不(bu)开(kai)当地的支(zhi)持。”胡智向介(jie)绍，清远市开(kai)展的先进制造业和高技术制造业企业扶优计划，推动公司向做强做优做大的方向发展。
在清远市的支(zhi)持下，先导薄膜建立了(le)省市两级工程中心、企业技术中心、广(guang)东省高性(xing)能溅射(she)靶材技术与应用企业重点实验室(shi)等平台，助力ITO靶材产(chan)品(pin)于2019年(nian)通过重点新材料首批次应用保(bao)险补偿试点项目，并(bing)于2023年(nian)入(ru)选广(guang)东省制造业单项冠军产(chan)品(pin)。当前，ITO靶材在该公司产(chan)品(pin)体系中占据(ju)核(he)心地位，是核(he)心技术产(chan)品(pin)。
凭借(jie)卓(zhuo)越的产(chan)品(pin)品(pin)质(zhi)，先导薄膜荣获中国有色金属工业协会科(ke)学技术奖一等奖、中国新型显示产(chan)业链(lian)发展特(te)殊贡献奖等多项荣誉。
在与广(guang)东省上下游企业的合作(zuo)上，先导薄膜形成了(le)良好的协同(tong)发展模式(shi)。一方面，与上游的材料公司合作(zuo)，通过增(zeng)加订单、提高采购量，推动其扩大生(sheng)产(chan)规模、提升产(chan)品(pin)质(zhi)量和技术水平。另一方面，与下游企业如TCL华(hua)星(xing)光电技术有限公司紧密(mi)合作(zuo)。此(ci)外，先导薄膜还(hai)与上下游企业开(kai)展协同(tong)创新，联合高校、科(ke)研(yan)机构共同(tong)参与重点研(yan)发计划项目。
2019年(nian)，先导薄膜与广(guang)州新视界光电科(ke)技有限公司、深圳市华(hua)星(xing)光电半导体显示技术有限公司、华(hua)南理(li)工大学、广(guang)东省半导体产(chan)业技术研(yan)究院共同(tong)参与广(guang)东省重点研(yan)发计划项目——“薄膜晶体管用高迁移(yi)率氧化(hua)物半导体溅射(she)靶材研(yan)究及应用”，获得了(le)省级支(zhi)持。经过项目团队的辛勤努力，该项目已成功验收，取得了(le)薄膜晶体管用高迁移(yi)率氧化(hua)物半导体溅射(she)靶材等先进成果。
走好“提升路”，增(zeng)强企业核(he)心竞争力
如今，先导薄膜已成为行(xing)业内的佼佼者，产(chan)品(pin)获得国内外客户和行(xing)业协会的高度认可。随着行(xing)业发展和技术进步，ITO靶材市场机遇与挑战并(bing)存。铟作(zuo)为ITO靶材的核(he)心原材料，资源稀缺且成本高，对大规模应用构成一定阻碍。如何提高ITO废(fei)料的回收和再利用技术以及无铟靶材等替代材料开(kai)发，成为行(xing)业关(guan)注的重点。
对此(ci)，胡智向介(jie)绍，公司将(jiang)加大研(yan)发投入(ru)，基于“原料提纯－粉(fen)体合成－精密(mi)靶材制备”的优势，开(kai)发更(geng)多满足客户需求的新产(chan)品(pin)。“目前公司正在开(kai)展新型显示及异(yi)质(zhi)结太阳(yang)能用TCO靶材技术改造等新型显示及光伏产(chan)业等项目，推动新型显示、新一代太阳(yang)能电池等应用，齐心协力建设广(guang)东省新型显示及光伏产(chan)业集群。”胡智向说。