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金融界 2025 年 2 月 22 日消息，国家知识(shi)产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司申请一项名为“一种基于(yu)压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制(zhi)备方法”的专利，公开号 CN 119497559 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本(ben)发明(ming)涉及半导体工艺技术(shu)领域，尤其涉及一种基于(yu)压电 MEMS 芯(xin)片的 PMUT 及其制(zhi)备方法，包括衬底(di)，衬底(di)具有相对的正面及背面，在衬底(di)的正面形成压电层，衬底(di)贯穿开设背腔，在压电层的表面形成结构层，结构层的厚度大于(yu)压电层中压电薄膜的厚度，使中性面位于(yu)结构层横向投影面积范围内(nei)；其中，压电层的顶电极位于(yu)振膜的区域开设隔离槽，隔离槽将顶电极分为互相独立的内(nei)部(bu)电极和外部(bu)电极；制(zhi)备方法，包括：在衬底(di)的正面生长压电层；刻蚀(shi)顶电极；生长结构层；贯穿刻蚀(shi)衬底(di)，形成背腔。本(ben)发明(ming)采用氧化硅作为结构层，氧化硅的杨氏模(mo)量低，工艺应力低可以有效降低谐振频率在此基础上刻蚀(shi)顶电极形成开缝(feng)，实现应力释放。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于(yu)2022年，位于(yu)合肥市(shi)，是一家以从事(shi)软件和信息技术(shu)服务业为主的企业。企业注册资本(ben)754.299万人民币，实缴资本(ben)504.3万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目2次，知识(shi)产权方面有商标信息2条(tiao)，专利信息79条(tiao)，此外企业还拥(yong)有行政许(xu)可4个。

来源：金融界