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羊城晚报记(ji)者 李程 梁辉森(sen) 通讯员 梁晔
从追赶到引领(ling)，短(duan)短(duan)数年，先(xian)导薄膜材料(liao)（广(guang)东）有限公司(si)（以下简称“先(xian)导薄膜”）完成了一场令人瞩(zhu)目的(de)行业逆袭，在全(quan)球ITO靶材行业实现“遥(yao)遥(yao)领(ling)先(xian)”，补齐了国内(nei)行业技术和产(chan)能的(de)短(duan)板。
据了解，先(xian)导薄膜主(zhu)要从事(shi)陶瓷靶材和金属靶材产(chan)品的(de)研(yan)发、生(sheng)产(chan)和销售，是先(xian)导科技集团下属子公司(si)。该公司(si)是国内(nei)首批进(jin)入磁存储靶材领(ling)域的(de)供(gong)应商(shang)，也是国内(nei)率先(xian)交付G4.5代AMOLED高迁(qian)氧化(hua)物靶材、率先(xian)实现高世代液(ye)晶显示面板用ITO靶材量(liang)产(chan)的(de)企业。当前，该公司(si)ITO靶材全(quan)球市(shi)场占有率超三成，产(chan)能跃居全(quan)球第一，客户涵盖京(jing)东方、TCL华星光电、三星、LG等全(quan)球知名厂商(shang)。
走好“突围(wei)路”，打破ITO靶材国外(wai)垄断
ITO靶材是一种透明电极薄膜材料(liao)，具有高的(de)导电率、高的(de)可见(jian)光透过率、高的(de)机械(xie)硬度(du)和良好的(de)化(hua)学稳定性，常用于显示面板、触摸(mo)面板、太阳能电池(shi)等的(de)制造，同时在智能建筑与(yu)汽车等领(ling)域也具有广(guang)泛应用。
以前，国内(nei)ITO靶材只能依赖外(wai)国进(jin)口。2014年以来，国内(nei)企业开始涉及(ji)这一领(ling)域，但大多只能制备低端(duan)ITO靶材，能制备高端(duan)ITO靶材的(de)企业较少，主(zhu)要的(de)市(shi)场份额依然由国外(wai)企业掌控。因此，打破国外(wai)ITO靶材制备技术垄断、实现高端(duan)ITO靶材的(de)国产(chan)化(hua)、保证国内(nei)显示产(chan)业关键原材料(liao)的(de)稳定供(gong)应，迫在眉睫(jie)。
先(xian)导薄膜基地(di)负责人胡(hu)智向介绍，开展ITO靶材研(yan)发后，公司(si)两条腿(tui)走路，一方面通过外(wai)延(yan)式扩张，不(bu)断扩充实力；另一方面持续加大投(tou)入，形成以自主(zhu)研(yan)发为引领(ling)的(de)研(yan)发模式，使得公司(si)技术水平和研(yan)发实力实现了连(lian)续高水平跃升。
研(yan)发过程中，ITO靶材尺(chi)寸和致(zhi)密度(du)是两大关键难题。“公司(si)积极与(yu)高校合作交流，引进(jin)技术人才，提升创新能力。”胡(hu)智向表示，公司(si)还与(yu)设备厂商(shang)合作，设计和开发新型大尺(chi)寸高精度(du)气氛烧结(jie)设备，通过大量(liang)实验和数据分析(xi)，找到工艺突破点。
经过不(bu)懈努力，先(xian)导薄膜在ITO靶材技术研(yan)发上取得了众多独特的(de)技术创新和专利成果。在纯度(du)提升方面，采用化(hua)学沉淀和电化(hua)学提纯方法(fa)提高原料(liao)纯度(du)；在制备高密度(du)大尺(chi)寸靶材上，运用新型大型成型设备和先(xian)进(jin)的(de)烧结(jie)技术。这些创新成果不(bu)仅提高了产(chan)品质量(liang)，更增强(qiang)了核心竞争(zheng)力。
2020年5月，先(xian)导薄膜G4.5代线(xian)镧系稀土掺(chan)杂金属氧化(hua)物（Ln-IZO）靶材成功交付给华星光电，标志(zhi)着(zhe)在高迁(qian)移率氧化(hua)物靶材领(ling)域取得重大技术突破。
走好“协同路”，取得多项先(xian)进(jin)成果
“公司(si)的(de)发展离不(bu)开当地(di)的(de)支持。”胡(hu)智向介绍，清(qing)远市(shi)开展的(de)先(xian)进(jin)制造业和高技术制造业企业扶(fu)优计划，推动公司(si)向做强(qiang)做优做大的(de)方向发展。
在清(qing)远市(shi)的(de)支持下，先(xian)导薄膜建立了省市(shi)两级工程中心、企业技术中心、广(guang)东省高性能溅射靶材技术与(yu)应用企业重点实验室等平台，助力ITO靶材产(chan)品于2019年通过重点新材料(liao)首批次应用保险补偿试点项目，并于2023年入选广(guang)东省制造业单项冠军产(chan)品。当前，ITO靶材在该公司(si)产(chan)品体系中占据核心地(di)位，是核心技术产(chan)品。
凭借卓越(yue)的(de)产(chan)品品质，先(xian)导薄膜荣获中国有色金属工业协会科学技术奖一等奖、中国新型显示产(chan)业链发展特殊贡献奖等多项荣誉(yu)。
在与(yu)广(guang)东省上下游企业的(de)合作上，先(xian)导薄膜形成了良好的(de)协同发展模式。一方面，与(yu)上游的(de)材料(liao)公司(si)合作，通过增加订单、提高采购量(liang)，推动其扩大生(sheng)产(chan)规模、提升产(chan)品质量(liang)和技术水平。另一方面，与(yu)下游企业如TCL华星光电技术有限公司(si)紧密合作。此外(wai)，先(xian)导薄膜还与(yu)上下游企业开展协同创新，联合高校、科研(yan)机构共同参与(yu)重点研(yan)发计划项目。
2019年，先(xian)导薄膜与(yu)广(guang)州新视界光电科技有限公司(si)、深圳市(shi)华星光电半导体显示技术有限公司(si)、华南(nan)理工大学、广(guang)东省半导体产(chan)业技术研(yan)究院共同参与(yu)广(guang)东省重点研(yan)发计划项目——“薄膜晶体管用高迁(qian)移率氧化(hua)物半导体溅射靶材研(yan)究及(ji)应用”，获得了省级支持。经过项目团队的(de)辛(xin)勤努力，该项目已成功验收，取得了薄膜晶体管用高迁(qian)移率氧化(hua)物半导体溅射靶材等先(xian)进(jin)成果。
走好“提升路”，增强(qiang)企业核心竞争(zheng)力
如今，先(xian)导薄膜已成为行业内(nei)的(de)佼佼者，产(chan)品获得国内(nei)外(wai)客户和行业协会的(de)高度(du)认(ren)可。随着(zhe)行业发展和技术进(jin)步，ITO靶材市(shi)场机遇与(yu)挑战并存。铟作为ITO靶材的(de)核心原材料(liao)，资源稀缺且成本高，对大规模应用构成一定阻碍(ai)。如何(he)提高ITO废料(liao)的(de)回(hui)收和再利用技术以及(ji)无铟靶材等替(ti)代材料(liao)开发，成为行业关注的(de)重点。
对此，胡(hu)智向介绍，公司(si)将加大研(yan)发投(tou)入，基于“原料(liao)提纯－粉体合成－精密靶材制备”的(de)优势，开发更多满足客户需求的(de)新产(chan)品。“目前公司(si)正在开展新型显示及(ji)异质结(jie)太阳能用TCO靶材技术改造等新型显示及(ji)光伏产(chan)业等项目，推动新型显示、新一代太阳能电池(shi)等应用，齐心协力建设广(guang)东省新型显示及(ji)光伏产(chan)业集群。”胡(hu)智向说。